몰리브덴 표적

적절성

몰리브데넘 스퍼터링 타겟은 기계적 강도, 고융점 및 내식성이 뛰어납니다. 몰리브데넘 타겟은 공격적인 액체 및 가스 환경에서도 파괴되지 않으며, 높은 탄성 계수와 낮은 열팽창 계수를 가지고 있습니다. 이러한 장점은 가장 까다롭고 복잡한 기술 생산 조건에서도 몰리브데넘 타겟을 사용할 수 있게 해줍니다. 몰리브데넘 스퍼터링 타겟은 텅스텐 타겟에 비해 거의 두 배 가벼우며, 따라서 몰리브데넘 제품은 (1370°C 이하의 온도에서) 더 높은 특정 강도를 가집니다. 실제로 유일한 단점은 몰리브데넘 타겟의 높은 생산 비용입니다. 이는 몰리브데넘이 희토류 금속 중 하나로 순수한 형태로 유도하기 비교적 어려운 점과 높은 온도에서 가공이 어렵기 때문입니다.

물리적 특성

화학적 특성

몰리브데넘은 80−100°C의 온도에서만 염산 및 황산과 반응합니다. 질산 및 왕수는 100°C의 온도에서만 몰리브데넘을 용해시킬 수 있습니다. 차가운 알칼리 용액에는 안정하지만, 뜨거운 알칼리 용액에서는 몰리브데넘이 천천히 파괴됩니다. 기술 몰리브데넘에 포함된 탄소, 산소, 실리콘, 알루미늄, 질소, 철, 황, 칼슘, 인은 백분율 또는 만분의 일 정도의 소량에도 몰리브데넘의 물성에 크게 영향을 미칩니다. 대부분의 불순물은 몰리브데넘을 더욱 취약하게 만듭니다. 모든 불순물 중에서 가장 해로운 것은 산소입니다. 0.0008−0.004%의 범위로 포함될 경우, 저융점 산화물이 몰리브데넘의 취약성을 급격히 증가시키고 특히 탄소와 질소가 함께 존재할 경우 변형 저항성을 감소시킬 수 있습니다. 산소 함량이 0.015%를 초과하면 몰리브데넘은 압력을 통해 가공할 수 없으며 취약해집니다.

제작

몰리브데넘 스퍼터링 타겟은 전자빔 및 구역 용해 방법으로 평평한 판, 디스크 및 튜브 형태로 제조됩니다. 고객의 도면에 따라 몰리브데넘 스퍼터링 타겟은 허용 오차 및 크기에 맞추어 다양한 설계로 제작됩니다.

스퍼터링 몰리브데넘 타겟

МЧВП, ОЧМ, ТСМ3, ТСМ4, 58,8; 4604; 4605, ЦМВ30, ЦМ3, ЦМ1, ЦМ5, ЦМ6, МЛТ, ВМ2, ВМ1, ВМ3, МР-10, МР47ВП

해외 합금명 (미국)

Mo, TZC, TM, TZM, Mo-50Re, WM.

평평한 몰리브데넘 타겟의 최대 크기, mm:

- 직사각형 타겟: 400x1550;

- 디스크형 타겟, 직경 630;

스퍼터링 몰리브데넘 타겟의 사용

몰리브데넘 타겟은 광학 기기 유리, 태양 전지 등과 같은 표면에 얇은 막을 입히는 데 사용됩니다.

공급자

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