텅스텐 타겟
기술 사양
도포용 텅스텐 타겟은 탁월한 내열성(텅스텐의 녹는점은 +3422°C임), 높은 탄성 계수 및 온도 크리프 저항성, 다른 소재와 비교했을 때 최소한의 온도 팽창 계수, 강도, 신뢰성 및 내구성을 갖추고 있습니다.
물리적 특성
| 설명 | 표시 |
|---|---|
| 데이터가 측정된 온도 t°C | 20°C |
| 선형 온도 팽창 계수 α [1/도] | 43x10-6 |
| 합금 밀도 [g/cm3] | 19.3 |
| 인장 강도 kg/mm2 | 35 |
| 20°C에서의 비열 C [kJ/(kg·도)] | 0.134 |
| 열전도도 K [W/(m·K)] | 300.173 |
| 비저항 R Ωxmm2/m | 0.054 |
텅스텐 타겟은 일반 온도에서 충분히 유연하지 않고 단단합니다. 단점으로는 순수한 텅스텐을 얻는 것이 어렵고, 높은 비중(금과 유사함), 그리고 낮은 온도에서의 취성이 있습니다. 독특한 속성으로 인해 텅스텐 타겟은 상당한 열이 있을 때만 압연, 당김 및 단조와 같은 형태로 가공될 수 있습니다.
제조 및 응용
텅스텐 타겟은 고객의 도면에 따라 가장 다양한 형상의 평판 디스크, 판 및 튜브 형태로 제조됩니다. 복잡한 형상의 텅스텐 타겟은 구리로 침투된 분말 형재를 기계적으로 가공하여 제조됩니다. 가공이 완료되면 구리는 진공에서 태워 제거하고, 이와 동시에 분말 성형체는 90%의 밀도로 압축됩니다. 텅스텐 튜브는 초음파 성형법을 사용하여 제작됩니다. 비용은 치수의 복잡성, 형상 및 추가 요구 사항에 따라 결정됩니다. 재료의 순도와 엄격한 제조 공정 준수는 높은 강도와 내열성을 보장합니다. 텅스텐 타겟은 광학 기기, 태양 전지 패널 등에 얇은 필름을 코팅하는 데 사용됩니다.
텅스텐 타겟과 그 등급:
- В-ПМ
- ВА
- ЦСВД
- В-ППМ
평판 타겟의 최대 크기 사양:
- 직경 630 mm의 디스크형 타겟;
- 400x1550 mm의 직사각형 타겟;
일반적인 타겟 사양:
- 0.710"X 4.75" X 44.000"
- 304.8x304.8x3.17–9.5 mm
- 812x127x8 mm
- 15x133x778 mm
- 18x248x300 mm
- 214x1600x11 mm
- 14x108x1462 mm
- 직경 322 mm x δ
- 직경 152XØ내부132.5xL750 mm
- 직경 152xØ내부125xL800 mm
- 직경 157xØ내부125xL1900 mm
- 직경 168xØ내부144xL1000 mm
- 직경 165.5XØ내부125xL1650 mm
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